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■ 測量激光束M2值、束腰大小、位置、
■ 功率和光強分布
■ 優(yōu)越的軟件控制
■ 能夠顯示沿主軸傳輸?shù)?D光束尺寸圖像
參數(shù) |
數(shù)值 |
光譜范圍 |
400-1100nm for Si version |
光束功率范圍 |
100uW-1W with supplied internal for the Si version |
刀片數(shù)量 |
7 |
光束大小 |
|
zui大發(fā)散角 |
10mrad(無透鏡) |
束腰到透鏡距離 |
2.0 |
重量 |
|
尺寸 |
100x173x |
機械調(diào)節(jié) |
水平角度:±1.5° |
電纜 |
|
■ 激光打印機質(zhì)量控制
■ 遠場激光準直
■ 光學系統(tǒng)質(zhì)量控制
■ 激光器制造
■ 激光二極管制造
■ 粒子測量
整個系統(tǒng)包括安裝在一個掃描束腰附件上的測量探頭和一個獨立的控制單元(有兩個LCD顯示操作按鈕)。一個外部的VGA顯示屏可以和控制單元連接,給出充分的圖像顯示。這個單元帶一個RS232接口與另一臺計算機通訊,以及一個FDD數(shù)據(jù)存儲器。
■ 測量激光束發(fā)散角、束腰大小、束腰位置、數(shù)值孔徑
■ 測量激光焦點位置、測量
■ 波長zui小可達190nm,zui大可達1800nm
參 數(shù) |
數(shù) 值 | |
光譜范圍 |
Si InGaAs UV |
400-1100nm 800-1800nm 190-1100nm |
光束功率范圍 |
Si InGaAs UV |
100uW-1W(自帶衰減片) 100uW-1mW(自帶衰減片) 100uW-1mW |
光束大?。?/span>D) |
9mm(有透鏡,Si& UV) 12.7mm(無透鏡,Si& UV) 3mm/5mm(無透鏡,InGaAs) | |
分辨率 |
≥10um | |
焦深精確度 |
±50um | |
尺寸 |
100x173x415mm | |
機械調(diào)節(jié) |
水平角度:±1.5° 垂直角度:±1.5° |
■ 激光打印機質(zhì)量控制
■ 遠場激光準直
■ 光學系統(tǒng)質(zhì)量控制
■ 激光器制造
■ 激光二極管制造
■ 粒子測量